Катодне розпилення

Катодне розпилення – це повільне руйнування катода під час газового розряду, причому частки катода у вигляді атомів металу осідають на оточуючих катод частинах розрядної трубки. Катодного розпилення тим інтенсивніше, чим більше молекулярна вага газу і чим більше катодного падіння потенціалу (отже, і швидкості бомбардують катод іонів). Катодного розпилення зменшується з збільшеному тиску газу.

Від природи катода катодного розпилення залежить складним чином. За зменшується інтенсивності розпилення метали розташовуються в наступний ряд у водні: РЬ, Sb, Ag, Au, Bi, Сі, Рt, N1, Fе;

в азоті: Аg, Аu, SЬ, Рb, Вi, Сі, Рt, Ni, Cd.

Катодного розпилення пояснюється випаровуванням атомів металу катода з досить малих елементів поверхні, де про катод вдаряються позитивні іони. Внаслідок рівномірності одержуваних при катодному розпиленні шарів і можливості нанесення шарів металу бажаної товщини катодних розпиленням дуже часто користуються в даний час на практиці. Способом катодного розпилення вдається отримати досить тонкі, напівпрозорі металеві шари.

Воно знайшло собі застосування і для отримання напівпрозорого електроду фотоелементів із замикаючим шаром. За допомогою катодного розпилення можна металлизировать такі матеріали, як папір, матерія та інші, готувати великі опору для радіотехніки і так далі. З іншого боку, катодного розпилення є шкідливим фактором, що порушує роботу газових приладів з Калян катодом. Катодного розпилення видаляє з катода активує електронну емісію метал. Тому для стійкої роботи приладу можна допустити тільки іони зі швидкостями нижче порога розпилення даного металу.

Посилання на основну публікацію